1、靶材密度，這個(gè)是較主要的，好的靶密度至少達(dá)到97%以上，所以大家買回靶來以后可以根據(jù)重量體積來計(jì)算一下，靶的密度和理論塊體的密度的比例有多少，低于90%不符合標(biāo)準(zhǔn)。
2、開裂問題，套磁靶很容易開裂，所以大家一定要求用cu的背板，這個(gè)是必須的，另外靶材不宜太厚，小于5mm較好了。金屬靶是不大會(huì)開裂的，否則它的密度肯定很差。
3、電導(dǎo)率對(duì)于AZO，ITO靶材來說非常重要的，買回來可以測(cè)測(cè)他們的電導(dǎo)率是多少，不同公司用的粉不同，電導(dǎo)率有很大差別，電阻率越小做出來的膜導(dǎo)電性肯定越好。